PXS256SE — CMP 抛光接触面的 65,536 点压力分布测量

抛光头隔着弹性背膜把晶圆压到抛光垫上，它施加的压力并不均匀：保持环自己承担一部分载荷，晶圆背后的分区气压达不到调压阀要求的那个值，高点还会随着抛光垫磨损而移动。一张 4096 点、点距 7.6 mm 的薄膜会把这一切平均成一团模糊的区域。这套系统之所以存在，是因为抛光头上真正要看清楚的特征只有 2–5 mm 宽。

六万五千个点，换来了什么

感压层在 360 × 360 mm 上排布 65,536 个测点——每个方向 256 个，点距 1.4 mm，单点 1.2 mm 见方、点间留 0.2 mm 间隙，约合每平方厘米 50 个点。3 mm 宽的保持环台面会横跨两个测点，读出来是一道台阶而不是一段斜坡；同样的台面放在 7.6 mm 的网格上只有一个采样点，一个点无法说明这个环受力是否均匀。这个判断的依据写在点距能分辨什么里。

这张薄膜是方的，整体 366 × 366 mm，覆盖的是抛光头整个底面（含保持环），而不只是晶圆那一块。需要连同保持环一起装进抛光头内部的方案，用的是环形定制款；两种做法都写在CMP 抛光场景页里。

100 kPa 的量程排除了什么

100 kPa 就是一个大气压。抛光头接触压力在几十千帕量级，所以这个量程用起来还有余量。也正因为如此，这张薄膜和大面积薄膜不能互换：鞍座、夹具、螺栓接头在标准型号上是 0.4–6 MPa，比这里高两个数量级。一个项目两样都要，就得配两种传感器——量程宽的做不密，密的做不宽，同一价位上不可能兼得。

把数字读准

采集器是 10 bit 量化，在 100 kPa 量程上约合每个计数 0.1 kPa。但系统精度是 ≤ ±5% FS，也就是 ±5 kPa，大约五十个计数。所以限制这次测量的不是分辨率，而是感压层本身、它的标定，以及界面平整度。把 0.1 kPa 当成精度来引用，是对这组算术的误读；比较两家参数之前，先弄清楚对方引的是哪一个数。

平整度比厚度更关键

薄膜厚度不足 0.4 mm，在 360 mm 范围内平整度误差 ±5–10 µm。两个数字重要在同一个地方：这张传感器被压在两个硬的平面之间，膜上任何起伏都会变成分布在图上看起来像真实特征的假象。厚度则会把界面撑开它自己那么多，这件事写在薄膜插进界面改变了什么里——在这个压力区间影响不大，但不是零。

交付内容与承诺

系统按完整链路交付：366 × 366 mm 感压膜、PXS256SE 采集器、装在 U 盘里的采集分析软件、携带箱、纸质说明书，整机保修一年（非人为损坏）。软件可装在任意电脑上、不限安装台数，终生免费升级。随机附第三方测试报告与设备精度检测报告，两项都写在交付条件里。

交付周期为下单后 30 个工作日内完成设计、生产、采购、组装与调试。现场培训包含在内，面向操作人员、维护人员与设备管理人员，覆盖安全要求、安装与测试、操作方法、主要硬件模块与软件原理。畔达在收到安装调试通知后 7 天内到场。工作日的技术支持响应在 24 小时以内，保修期结束后仍可提供精度校正与技术服务。

这些数字的来源

表内每一个数值都取自随系统交付的产品规格书（V1.00）。其中两项是派生值并已标注：点密度（65,536 ÷ 36 × 36 cm）与单点分辨率（100 kPa ÷ 1024）。表里没有估算值；规格书没写的项目——重量、防护等级、线缆长度——这一页也不写。